Le capteur est installé dans la zone de mesure centrale du système de test, entre la chambre de référence et la chambre de test. Il assure la détection continue des variations de pression, la détermination précise des fuites, la conversion du signal électrique et des mesures haute résolution. Son principe de fonctionnement repose sur une technologie de détection de pression capacitive de haute précision : les variations de pression induisent une déformation infime de la membrane sensible, entraînant des variations de capacité converties en signaux électriques précis.
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En tant qu'instrumentation de précision, afin de garantir des exigences de haute précision concernant la direction du flux de gaz et la conductivité électrique, le processus de fabrication doit être exempt de toute rayure visible et de toute trace d'eau après le traitement de surface, qualifiant ainsi ces composants de haute précision.